晶圓片托架落座傳感器
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供應商 歐姆龍自動化（中國）有限公司
所屬分類 紡機,自動化、信息與服務
類型 紡織工業(yè)控制
型號 EE-SPY801/802
詳細介紹
薄片載體的落座檢測
■依靠與導槽并用，設定落座位置。
■晶圓片托架的接觸面使用了氟素樹脂。防化學性能優(yōu)越。
■在獨特的光學結構，幾乎可穩(wěn)定檢測所有晶圓片托架。
■采用強抗外部干擾光的變調光方式。
■電線使用凈化電線(無粉塵)。
額定值 / 規(guī)格
| 項目 型號 | EE- SPY801/802 | |
| 檢測距離 (標準檢測物體) |
0～5mm （反射率90% 白色紙15×15mm2 ） 0～3mm （反射率10% 黑色紙15×15mm2 ） | |
| 檢測物體 | 晶圓片拖架（透明體·不透明體） | |
| 動作顯示燈 | 物體檢測時燈亮（橙色） | |
| 光源(發(fā)光波長) | GaAs紅外發(fā)光二極管(940nm) | |
| 電源電壓 | DC12～24V±10% 脈動(p-p)5%以下 | |
| 消耗電流 | 30mA以下 | |
| 控制輸出 | NPN型：集電極開路輸出、DC5～24V、100mA以下 殘留電壓：0.8V以下(負載電流100mA時) 殘留電壓：0.4V以下(負載電流40mA時) | |
| 應答時間 | 5ms以下 | |
| 使用環(huán)境照度 | 受光面照度 白熾燈、太陽光：3,000lx以下 | |
| 環(huán)境溫度 | 動作時：－10～＋55℃、 保存時：－25～＋65℃ （不結冰） | |
| 環(huán)境濕度 | 動作時：5～85％RH、 保存時：5～95％RH （不結露） | |
| 振動（耐久） | 1～500Hz 復振幅1.0mm或150m/s2 X、Y、Z各方向 3次、11min/次 | |
| 沖擊（耐久） | 500m/s2 X、Y、 Z各方向 3次 | |
| 保護結構 | IEC規(guī)格 IP30 | |
| 連接方式 | 導線引出型(標準導線長2m) | |
| 質量（捆包狀態(tài)） | 本體(傳感器)：約43g、附件(導槽 )：約9g | |
| 材料 | 外殼 | 四氟乙烯共聚合物（ETFE） |
| 底板 | 聚對苯二甲酸丁二醇酯 | |
| 附件 | 使用說明書 | |
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歐姆龍自動化（中國）有限公司
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